Если наиболее чувствительный до последнего времени метод лазерного микроспектрального анализа испаряет в одной пробе 3спектроскопияспектроскопияспектроскопия атомных слоев материала и не различает многие элементы из их переодической системы, то особо точные спектроскопичексие методы, такие как вторично-ионная масс-спектроскопия, оже-спектроскопия, рентгеноэлектронная спектроскопия и спектроскопия обратно рассеянных ионов низких энергий позволяют анализировать следы толщиной всего в один атомный слой, обеспечивая отождествление любого из элементов периодической системы Менделеева