ПАДЕЖ | Ед. ч. | Мн. ч. | |
---|---|---|---|
И. | эпитакси́я | эпитакси́и | |
Р. | эпитакси́и | эпитакси́й | |
Д. | эпитакси́и | эпитакси́ям | |
В. | неод. | эпитакси́ю | эпитакси́и |
одуш. | |||
Т. | эпитакси́ей, эпитакси́ею | эпитакси́ями | |
П. | эпитакси́и | эпитакси́ях |
(от эпи... и греч. taxis - расположение), ориентированный рост одного монокристалла на поверхности другого (подложки). Вещества могут быть одинаковы (гомоэпитаксия, или автоэпитаксия) или различны (гетероэпитаксия). Эпитаксия определяется условием сопряжения кристаллических решеток кристалла и подложки.