| ПАДЕЖ | Ед. ч. | Мн. ч. | |
|---|---|---|---|
| И. | эпитакси́я | эпитакси́и | |
| Р. | эпитакси́и | эпитакси́й | |
| Д. | эпитакси́и | эпитакси́ям | |
| В. | неод. | эпитакси́ю | эпитакси́и |
| одуш. | |||
| Т. | эпитакси́ей, эпитакси́ею | эпитакси́ями | |
| П. | эпитакси́и | эпитакси́ях | |
(от эпи... и греч. taxis - расположение), ориентированный рост одного монокристалла на поверхности другого (подложки). Вещества могут быть одинаковы (гомоэпитаксия, или автоэпитаксия) или различны (гетероэпитаксия). Эпитаксия определяется условием сопряжения кристаллических решеток кристалла и подложки.